这几天修一台ACS510 30KW变频器，炸了整流和逆变，开关电源主供电烧断，光耦5脚供电-5伏整流二极管短路，充电三极管和继电器烧坏，光耦坏了几路，-6.8伏68欧电阻坏，IN4148坏了几个。主板也烧坏了，MC33074也坏了。
现在这些已经都修复了，测量下桥光耦5和8脚静态供电25伏，运行以后18伏多，上桥静态供电4.2伏左右。
原机主板已更换。
但是，下桥静态电压-5.2伏，运行以后无法变成正压，只有-2.2伏左右，无法触发导通下桥，所以上桥无法供电也无法导通。
我测量了下桥3路波形，是那种前高后低的倾斜方波，再次测量光耦前面的6路触发信号，也是这样的波形。
不知道大家遇到过没有，怎么解决的。

示波器探头上有个螺丝，没调好就是这样的波形

示波器过一阵子就校验一下

非常感谢提醒，又使用台式示波器测了一下，是那个小示波器的问题，不是探头问题。

非常感谢楼上两位朋友的提示，刚才又用台式示波器测试一下，确实是方波。问题是出在那个小的示波器身上，频率降低以后，波形无法保持方波，看来只能临时用一下，无法与台式示波器一样使用。
下面是测试变频器A3120的2、3脚波形，该波形是在变频器给定0Hz，停机运行的时候测出来的。

刚才又把光藕安装到上面，测了一下5、8脚静态电压25.23伏，运行电压15.76伏，U相下桥静态-5.39伏，运行-2.29伏。
查看U相下桥波形，运行以后没有超过0伏。示波器方波前沿上翘可以忽略，主要是低频有测量误差。

我好像知道是怎么回事了，白天再确认一下。
好像更换的IGBT瞬变抑制二极管是单向的，应该使用双向的才可以。电路板上面确实有方向，丝印上面也有方向，但是此处确实不能用单向的。