是不是刚性设大了呢？

如果是一直用起的，没动过参数，有可能是驱动板的问题

我这边发那科系统好像遇到过一次这种问题的， NC上电 X轴电机就抖动然后驱动报警，后来换了个伺服电机还是抖动，然后怎么弄的忘记了。好像是驱动插口这边问题

你看下你的速度设置是否过快，还有就是你的伺服系统是否又在使能信号的情况抖

准备调整伺服速度环增益。

设备过年后还在使用，最近使用NC接通上电，电机z轴就有噪声。来到现场卸掉防护罩，用手摸丝杠好像震动似的.本人初次接触数控设备。弄不明白的是没按任何按键，伺服电机会有反应。（三菱M50系统、MDS-B-SVJ2系列驱动器）

设备过年后还在使用，最近使用NC接通上电，电机z轴就有噪声。来到现场卸掉防护罩，用手摸丝杠好像震动似的.本人初次接触数控设备。弄不明白的是没按任何按键，伺服电机会有反应。（三菱M50系统、MDS-B-SVJ2系列驱动器）

驱动器那边显示是d3的  就是编码器由于停机久了受潮 出现抖动这一现象。。。

电机刚性太高

楼上说的都没错呢