能过你后面的描述，现象很可能是频率太高，你先确定下你驱动器的分频数，确定下你输出给驱动器的频率，确保这些都在设备的要求之内；
另外，你说的抖动的问题，步进电机在低速动行时都会有这个情况，通常采用机械方如谐波减速机来消除这个现象，按你的说法，你要先确定你的电机的扭力大于负载，也就是看一下你的电机有没有丢步的情况！
但愿以上内容能对你有帮助！

调一下驱动器的细分，一般是细分导致电机过热