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主题:薄膜厚度检测用什么传感器?

点击:836 回复:4

想做一个薄膜厚度检测,用什么传感器合适?厚度在几微米到十几微米之间,误差要求在0.1微米以内。
12-07-13 19:02
这个……,好像核辐射可以用于厚度检测控制调节。
12-07-14 08:29
这么小,估计基恩士也头大。还有数字检测,一般漂移比较大,不是很理想。
12-07-14 10:58
感谢cgmguangming的回复,核辐射的好像成本蛮高,还有一定辐射顾忌,想找成本稍微低一点的。
12-07-14 21:43
感谢wushulin 版主的回复,就是因为厚度很薄,误差要求很小,找传感器探头很头疼。
12-07-14 21:45

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