台达高精度模块化温控器DTDM系列耀世登场
2026-03-09 11:37 来源:中达电通股份有限公司
在半导体芯片的精密制造场域里,毫厘温差,足以定义成败。每一次沉积、每一道蚀刻,温度曲线的轻微扰动,都可能影响最终良率与品质。
谁来为高端制造,筑牢“温度”这一生命线?
凭借对精密制造场景的深刻理解与技术积淀,台达正式推出高精度模块化温度控制器DTDM系列,为半导体等精密制造而生的控温利器,重塑精密温控新标准。
核心亮点:定义温控新高度
精准锁温:±0.1%高精度量测+10ms高速采样,将温度波动牢牢锁死。
协同控制:PID串级控制算法,内外环协同工作,快速抑制滞后与超调。
弹性扩展:模块化架构,支持32通道自由扩展,一对多控制节省成本。
高速互联:EtherCAT高速网络,即插即用,数据实时互通。
直击痛点:守护半导体制造“温度生命线”技术
满足多区加热需求:通过灵活构建多达32路的独立温控单元的独特优势,为半导体加工解决从紧凑型设备到大型多区加热系统的全方位需求。
温控精准可靠:集前馈补偿、PID串级、14点温度校正于一体,不仅能快速响应,更能预见干扰,实现真正的稳定与精准。
智能可靠守护:一对多控制:在需要多点控温的场景,仅通过单一测温点的温度信息,即可以自订比例的方式实现多通道的加热控制输出,大幅提升效益。
输入冗余切换:传感器故障瞬间无扰切换,保障生产零中断。
多通道温差监控:实时比对,异常温差即刻预警,确保工艺均匀性。
无缝数字集成:内置状态数据库与逻辑运算能力,是连接设备层与信息层的智能节点,让数据流动更顺畅。
台达DTDM系列,已准备就绪,驾驭毫厘温差,铸就非凡工艺。