薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量(0.01--100Pa)工作副标准的一种真空仪器,
其原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。
而我们常用的真空计往往是电阻计、热偶计居多,是一种间接测量的真空计,是一种热传导型的真空测量方法,简单一点来说,就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强(真空度),是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法。由于测量原理上的先天不足,这类真空计的测量精度、测量稳定度等等技术指标与薄膜真空计是无法相比的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级(误差大于30%),尤其是在低真空段(0.01---100Pa),误差大到测量可信度极低。但是由于它制造容易、价格低廉,在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着。
现在真空应用技术的发展,真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高,特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高,因为这直接关系到真空设备的整体性能质量,关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果,甚至研制项目的成败。在精细化工、真空冶炼、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其重要。
关于量程选择,建议根据您最关心的真空度区间来选择,比如主要测量50~80Pa左右的真空度,最好选择量程0.01Pa~100Pa、精度等级0.1级或0.25级,比较理想,但价格会高一点;如果选择0.1~1000Pa的量程或1~10000Pa同样精度的,虽然误差大一点,但性价比有时会高不少,具体看设备的要求来定。
薄膜真空计作为一种高精度的计量仪器,要实现高精度准确测量真空度,还必须定期在法定计量部门进行校准,取得计量校准证书,这样才能做到测得准确。
我国的法定计量体系是CNAS,所以你的薄膜真空计到底准不准?误差有多大?取得CNAS资质的校准证书才是可靠的证明。
这一点往往容易被大家忽视。
最后修改:2019/3/13 9:01:22