在晶圆厂区内，晶圆生产良率的优劣与机台的状况及环境数据息息相关，因此晶圆厂对于这些数据极为重视。现有的做法是人工带着仪表到厂区各处进行机台及环境数据的测量，这样的测量方式既耗时又费力且难达到定时定量的测量，且人力在现场测量时可能因为人为因素干扰到现场环境而影响测量数据失真。因此如何以更有效率的方式达成现场机台以及环境数据的采集是目前晶圆厂所面对的一个极为重要的议题。
前言
一般而言厂区内摆放着极精密的设备，会受到无线或电磁波的干扰。半导体厂商采用无线方式进行资料传递，会有资讯安全的疑虑，所以对于无线网络的资料传递的管制相当严格。因此利用电信商对半导体厂商客制化的、可避开资料外流MDVPN 网络，达成资料定时自动采集功能，避免人为疏失或遗漏造成的资料遗失。至于现有人员在厂区走动收集各处机台及环境资讯的人耗损害问题，我们使用AVG 车进行厂内定时定点巡逻，以达成更有规律的资料收集方式。
系统架构及应作方式
整体系统架构如图一，AGV 车搭载环境探测仪表与资料收集器(G-4513)，和蓝牙无线传输模块(tBLE-720) 定时在预先规划好的路径上巡逻，并停留在规划点上收集机台及环境资讯。在收集过程中，资料收集器会立即将刚采集到的数据经由无线回传到中控室的伺服器端，并存入资料库，以利后续伺服器进行实时监控及现场大数据分析。
G-4513(PD)-3GWA 简介
● zz支持 WCDMA 850 / 900 / 1900 / 2100MHz
● zz具太阳能 / 铅酸电池充电器
● zzCOM port: COM1 (5-wire RS232), COM2(RS-485)
● zzI/O: 3 DI, 3 DO, 8 AI, 1 relay DO
● zz支持 SD card.
● zz128*64 dots LCM display (option)
● zz支持GPS、GPRS的 TCP ,UDP client功能

机器采集数据，较之人工采集，减小了劳动强度、提高了效率。