主题：做半导体设备，采购人家冷水机组，调试时频频报压力过低、压力过高......，实在气死！机组在无尘室恒温25°，

点击:854 回复:4

楼主

编辑引用管理

高雅的雅

做半导体设备，采购人家冷水机组，调试时频频报压力过低、压力过高......，实在气死！机组在无尘室恒温25°，肯定不是温度影响

18-02-08 21:28

1楼

编辑引用管理

现在冬天，将低冷却塔散热量，冷却回水温度不要低了。

18-02-09 00:50

2楼

编辑引用管理

反正机组总是报压缩机高压、压缩机低压、压缩机电流低、压缩机电流高......
厂家来人就是把报警关了而已

18-02-09 08:06

3楼

编辑引用管理

你的机组负荷能达到多少？
你的冷却水进出水温多少？
这些都是有关系的！

18-02-09 08:27

4楼

编辑引用管理

半导体生产设备要求恒定24.5°，而磨削会产生热量导致温升，系统磨削精度2.5纳米左右，要求磨削液温度差不得超过1°（正负±偏差0.5°）

18-02-16 22:52