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主题:请教对真空镀膜设备的问题!

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近段时间发现使用的真空镀膜设备上的电离规管坏的频率很高,基本一个星期更换一个,请教各位大侠,引起电离规管坏的原因有哪些?如何处理?谢谢!!!
14-09-23 17:26
负载是流太大了,钩表测试下
14-09-24 08:33
负载电流太大?钩表测量一下?怎么测呢?是灯丝阻值变化了
14-09-30 17:26
电离规管时测量真空度的10(-2)pa以下的,就是达到10(-2)pa以下后变化太快
14-09-30 17:27

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