把极限拆下来，伺服移动过程中，任意时间执行极限开关。看伺服抖动现象。仍有抖动的话，应该不会是机械的问题。
再确认问题产生的过程，是否一直存在这个问题，一般生产单位，可能很少碰到上极限，因此，如果是第一次碰到极限，并且出现这个问题，则应该考虑伺服参数等情况，如果以前一直都好的，现在才出现问题，则应该更多的考虑接线故障。

你买的台达的都没有搞售后的么?
根据你的现象判断可能是增益和惯量比调的不是很合适造的!

估计是还没优化吧