超声波波长较长,兆声波波长比超声波小了几个几何量级!!
超声波对于表面平整度在纳米级别的晶圆,即使在清洗槽内衍射依然不能充分覆盖晶圆全部表面导致晶圆研磨后的硅粉尘不能全部剥离干净!!兆声波波长比超声波小了几个几何量级,更能贴近晶圆表面,对晶圆表面的硅粉尘可以更加有效剥离去除,目前国内的压电陶瓷材料远逊于小日本等等国外产品,而压电陶瓷是电转化为兆声波的唯一可以大规模工业应用的转化介质......
本来我看到1楼那种无知的东西(看那个东西连中文都不懂,真不知这种东西作为中国垃圾应该早点进入焚化炉处理掉),我的意思很清楚,但是那个垃圾实在不知道中文意思
20-05-09 21:54