各位大师，请教一下，图中的工艺在PLC中该怎么编写，层数可以选择开通与不开通，时间可以调整分秒，气体选择自增自减（可以设定多少秒增一个气体或者减一个气体），主页面转架上方的层数可以在工艺运行时实现跳层（比方运行到6层工艺，可以调整返回任何一层，也可以调整前进任何一层），主页面转架上方的时间，是当前层数时间的倒计时，在工艺运行时可以调整时间，加长或者减少，但是不会影响到原工艺的设定（比如工艺设定第一层是5分钟，在运行工艺时，可以调整时间的分秒，等运行第二层时候，在设定工艺里还是5分钟，不会影响下次运行工艺的时间），问题有点多，哪位师傅可以耐心的解答一下吗？不胜感激

有没有哪位大师是真空镀膜行业的，磁控溅射，能否指点指点。

曾经帮人看过一次，记得要抽真空，有真空度要求。
罗茨泵？

引用 bnnyygy 在 2019/10/28 17:47:54 发言【内容省略】

嗯是的，来罗茨泵有真空度要求，开精抽阀也有真空度要求，互锁的

罗茨泵效率高，一级泵真空度不高，真空度要高要考虑两级组合，两级泵要考虑开机顺序

引用 goldage 在 2019/10/28 21:18:51 发言【内容省略】

顺序控制，现在难在工艺部分，不知道如何下手。

按工艺过程编制
“主页面转架上方的层数可以在工艺运行时实现跳层（比方运行到6层工艺，可以调整返回任何一层，也可以调整前进任何一层）”
不理解为什么要这样做，帮助调试过2家产品，都是“进段”操作，你说的层可能就是“段”，我开始称之为“步”，说白了就是第一步完成什么，时间到了或条件满足，做第二步工作......所有这些“步/段”指令都是上级工控机发出，如果你没有使用上位机，那就在PLC里建个数据库，将工艺数据存在这个库里，按工艺步骤调用。
可能是那个“跳层”难住了你，把那个层的数据放到第7层就是了。

引用 蜀中之首 在 2019/10/29 10:31:22 发言【内容省略】

有的是上位机用组态软件，直接用的配方。有的是PLC程序做的，需要几号工艺就调用。根据你的思路，我试试。万分感谢。

“主页面转架上方的层数可以在工艺运行时实现跳层（比方运行到6层工艺，可以调整返回任何一层，也可以调整前进任何一层）”
不理解为什么要这样做
这样做的目的是，比如我第一次生产时设备出现故障，处理完之后，前面第一次货品已经做过了前面层数，需要减少时间或者跳层

引用 自由的风筝 在 2019/10/29 15:15:21 发言【内容省略】

遇到这种情况，大体有三种情况
1种是不破坏真空环境，外部故障，急停后继续就是了。
另一种是要开炉，要重新抽真空，再从需要的“层”继续，即临时修改菜单，他们是先删除先前几层工艺再抽真空工作。
第三种，产品直接报废