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主题:做半导体设备,采购人家冷水机组,调试时频频报压力过低、压力过高......,实在气死!机组在无尘室恒温25°,
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高雅的雅
做半导体设备,采购人家冷水机组,调试时频频报压力过低、压力过高......,实在气死!机组在无尘室恒温25°,肯定不是温度影响
18-02-08 21:28
1楼
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m7_Hugo
现在冬天,将低冷却塔散热量,冷却回水温度不要低了。
18-02-09 00:50
2楼
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高雅的雅
反正机组总是报压缩机高压、压缩机低压、压缩机电流低、压缩机电流高......
厂家来人就是把报警关了而已
18-02-09 08:06
3楼
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wenquan753
你的机组负荷能达到多少?
你的冷却水进出水温多少?
这些都是有关系的!
18-02-09 08:27
4楼
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高雅的雅
半导体生产设备要求恒定24.5°,而磨削会产生热量导致温升,系统磨削精度2.5纳米左右,要求磨削液温度差不得超过1°(正负±偏差0.5°)
18-02-16 22:52
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