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主题：薄膜厚度检测用什么传感器？

点击:865 回复:4

楼主
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wherecl

想做一个薄膜厚度检测，用什么传感器合适？厚度在几微米到十几微米之间，误差要求在0.1微米以内。
12-07-13 19:02
1楼
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cgmguangming

这个……，好像核辐射可以用于厚度检测控制调节。
12-07-14 08:29
2楼
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wushulin

这么小，估计基恩士也头大。还有数字检测，一般漂移比较大，不是很理想。
12-07-14 10:58
3楼
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wherecl

感谢cgmguangming的回复，核辐射的好像成本蛮高，还有一定辐射顾忌，想找成本稍微低一点的。
12-07-14 21:43
4楼
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wherecl

感谢wushulin 版主的回复，就是因为厚度很薄，误差要求很小，找传感器探头很头疼。
12-07-14 21:45

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