光栅尺重复定位问题
求教各位老师，我做了台测长机，长度3米，用三菱伺服电机+联轴器+滚珠丝杆+光栅尺，带动滑台前后移动，用雷尼紹的开式光栅尺检测并形成闭环控制，反馈相对位置。激光干涉仪与滑台一起同步移动，请问连续多次移动2000mm，发现光栅尺的读数与激光干涉仪的读数有时差0.003mm左右有时差0.012左右，为什么不一样，请高人帮助指导。