SK海力士拟打造全自动化半导体厂

SK海力士(SK Hynix)为打造全自动化的半导体工厂，表示提升设备业者的软件技术极为重要，同时强调需在预测解决方案方面进行合作。Theelec报导，SK海力士TL郑有仁(音译)在SEMICON Korea会议中指出，SK海力士300mm晶圆厂的自动化位在第3~4阶段。为迈向第5阶段，需与设备业、学界等进行合作。

自动化工程分成1~5个阶段，数字愈高自动化水平愈高，第5阶段为全自动化。郑有仁透露，大多数最新的半导体厂正在打造3~4阶段自动化作业。可自动完成多项作业，无需人员监控。在良率和生产效率方面，与人类表现相似。

其中，「预测」是实现智能工厂的最终关卡。以精准预测为基础，可提升生产效率、良率，减少费用等。郑有仁指出，在半导体自动化工程中，通过AI、数字孪生(Digital Twin)技术的预测解决方案将变得更为重要，可解决半导体自动化工程中出现的各种问题，如Cue-time排程、OHT(OverHead Transport)路径设置。

Cue-time是指规定每项工程的开始和结束时间，若超出时间限制，将影响良率及质量表现，因此Cue-time排程极为重要。为达自动化，SK海力士最近正在利用AI进行研究，但尚未得到令人满意的结果。OHT路径设定则是将晶圆按照工艺顺序，自动运送到设备室，SK海力士目前正在利用数字孪生开发自动化技术，并推进模拟开发作业，致力于提高预测精准度。

为迈向智能厂房第5阶段，在优化算法的同时，预测精确度也至关重要。郑有仁表示，为准确预测工作时间和路径，需提高半导体设备的软硬件技术。SK海力士将通过与业界及学界的合作，在智能工厂第5阶段的良率和生产性方面，达到预期目标。